主要技术指标:
加速电压:200 V-30 kV
束流大小:1 pA-400 nA(小束流拍摄敏感样品,大束流用于能谱采集);
透镜(物镜)组成:复合末级透镜:静电式+磁浸没兼容磁性样品;
减速样品台:偏压在-4000 V到+50 V,降低电子对样品的损伤,同时提高低压分辨率;
高真空分辨率(SE二次电子):≤ 0.7 nm@15 kV;
≤超低压分辨率:0.9 nm@500 V;
XYZ形程:≥ 110 × 110 × 65 mm,倾斜≥ -15°到+90°
能量分辨率保持能力:1-100000 cps下保持优于129 eV
主要应用:
1、Apreo革命性的复合透镜设计结合了静电和磁浸没技术,可产生前所未有的高分辨率和信号选择。这使得Apreo成为研究纳米颗粒、催化剂、粉末和纳米器件的理想平台,并且不会降低磁性样品性能;
2、灵活的探测器组合可将各个探测器部分提供的信息相结合,获得至关重要的对比度或信号强度。
主要特色:
超高的分辨率和衬度反差;
高速精确分析能力;
稳定的大束流;
较高的自动化操作;
从磁性样品到非导体样品使用范围广泛。