仪器名称：X射线/紫外光电子能谱仪

仪器编号: 暂无

生产厂家: 赛默飞

型号: Nexsa

制造国家: 美国

分类号：暂无

放置地点： 会文北楼C区109

出厂日期： 2022.01.12

购置日期： 2022.01.12

入网时间： 2022.01.12

主要规格及技术指标:

1. 单色化Al Kα X射线源，光斑尺寸在10μm~400μm之间连续可调；

2. 能量分辨率（正常工作条件下）：对Ag3d_5/2峰，半峰宽（FWHM）≤0.50 eV;

3. 单色化XPS灵敏度（大面积，束斑400μm）：对Ag3d_5/2峰，能量分辨≤1.0 eV时，功率为72W条件下，计数率强度≥4 Mcps;

4. 配置同轴电子枪中和方式，未配置磁透镜，强磁性样品需在消磁后进行测试；

5. 单离子刻蚀模式，刻蚀能量200-4000eV阶段可调；

6. 变角分析，常中心旋转：0~360度，倾斜：0~90度；

7. XPS成像；

8. UPS能量分辨率：0.1eV；

主要功能及特色：

可进行有机、无机、金属等各种材料的表面介个原子层的化学组成、价态、深度剖析及成像、能带特性的分析与表征；

a. 普通XPS: 对表面（≤10nm）元素组成及化学态的定性及半定量分析；

b. 离子刻蚀：通过离子溅射剥离测试区域最外层，对样品进行逐层分析；

c. XPS成像：对样品进行微区分析，获得微区元素的分布情况；

d. XPS角分辨：改变收集电子的发射角度，可探测到不同深度的电子，提供超薄膜的组分信息，与溅射深度剖析不同，ARXPS为非破坏性分析技术；

e. 紫外光电子能谱：通过测量价层电子的能量分布从中获得有关价电子结构的各种信息，包括材料的价带谱、逸出功等；

主要附件及配置：无

开放预约：开放

计费信息：待定